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钽靶
浏览次 2016-06-21 10:32:51

钽溅射靶材、钽钨合金靶材
规格:直径(50-400)mm *厚度(3-28)mm 
牌号:RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
纯度:>=99.95%(最大99.99%)


成份说明:

Ta

99.95  %最少

O

0.0120  %最大

C

0.0040  %最大

N

0.0040  %最大

H

0.0010  %最大

S

0.0001  %最大

Al

0.0005  %最大

Ca

0.0005  %最大

Cd

0.0005  %最大

Cl

0.0005  %最大

Co

0.0005  %最大

Cr

0.0005  %最大

Cu

0.0005  %最大

Fe

0.0005  %最大

Hf

0.0005  %最大

K

0.0001  %最大

Li

0.0001  %最大

Mg

0.0005  %最大

Mn

0.0005  %最大

Mo

0.0030  %最大

Na

0.0001  %最大

Nb

0.0350  %最大

Ni

0.0005  %最大

Pb

0.0005  %最大

Si

0.0005  %最大

Sn

0.0005  %最大

Ti

0.0005  %最大

Th

0.0050  %最大

V

0.0005  %最大

W

0.0050  %最大

Zn

0.0005  %最大

Zr

0.0005  %最大

Y

0.0005  %最大

U

0.0050  %最大

其它

0.0005  %最大

 

再结晶 :95%最少
晶粒度 :最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.4 最大
平整度:0.1mm or 0.10% 最大.
公差:直径公差+/- 0.254
如有特殊要求,双方具体商定

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